ferdimh:
Gesputtert wird von DC bis 13,56MHz, nicht im GHz-Bereich. Ich lege einfach an die Elektroden 600V DC an, die mit ner schnell regelnden Strombegrenzung versehen sind. Mit HF kann man auch sputtern, braucht aber ein besseres Vakuum. Und man braucht HF.
Ja, ok, Du hast natürlich recht, ich konnte das Gebilde ums Target nicht genau identifizieren.
Dem aufmerksamen Betrachter wäre sicher aufgefallen, dass ein Gurkenglas und ein Hochvakuum sich vermutlich nicht vertragen, oder gibt es da schon erfolgreiche Versuche
"Magnetronsputtern" verwendet keine HF aus einem Magnetron, sondern Magnete hinter dem Target, die die Elektronen auf Kreisbahnen zwingen, so dass mehr Abtrag möglich ist. Ist nicht Pflicht, und wir lassen es einfach erstmal bleiben.
Eben, ein entsprechend modifiziertes Mikrowellenmagnetron wäre der Hammer schlechthin gewesen, aber Deine Konstruktion hat jetzt schon was im Stile des Deneuralisators aus MIB im Keller von diesem außerirdischen Waffenheini
Meine Regierung untersagt den Nachbau solcher Anlagen aber derzeit
Bei der Anlage an der Uni damals hatten wir zwei Magnetrons mit unterschiedlichen Targets (siehe Avatarbild) und drei Massflowcontroller die im ppm-Bereich simultan Sauerstoff, Argon und Stickstoff dosieren konnten, verbaut... Naja und so eine "kleine" Turbomolekularpumpe, die hat noch rausgelutscht, was der dicke Leybold-drehschieber nicht geschaft hat...
Das war ein Paradis! *lechts*
wäre doch der Hammer, könnte man sich seine Schaltungen auf einen Joghurtbecher sputtern
